Setra 730 真空静電容量マノメーター
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特長
- 読み取り精度の±0.5%
- 応答時間<20 ms
- 無限の分解能、出力ノイズレベルによってのみ制限されます (≤0.005% FS)
- 0～50ºC の補正範囲
- ±0.25% FS/50ºC ゼロシフト
- ±1.35% Rdg/50ºC スパンシフト
- 0.5% FS/1 年間の長期安定性
- 張力のあるダイヤフラム
- 広範囲の補正動作温度
- CE および RoHS 準拠
Setra 730 真空静電容量マノメーターは、高精度の絶対静電容量マノメーター (静電容量ダイヤフラムゲージ (CDG) とも呼ばれます) で、太陽光発電、半導体、産業市場におけるプロセス制御に不可欠な低真空圧力範囲を測定します。730 は、最も攻撃的なプロセス媒体で使用するために、溶接されたオールインコネルの接液部品を使用しています。インコネルは、半導体および産業用真空プロセスで使用される腐食性媒体に対して高い耐性があります。730 マノメーターの高周波電子設計は RoHS に完全に準拠しており、極めて低いノイズを実現しながら、重要な制御アプリケーションに必要な高速応答時間を維持します。730 は、外部ノイズ除去、高速ウォームアップ、環境の影響に対する耐性も備えています。
730 静電容量マノメーターは、剛性のある単電極可変静電容量センシング要素を使用しているため、高い過圧能力と優れた長期安定性が得られます。 730 は、0.5% の読み取り精度、低ヒステリシス、高解像度を特徴とし、幅広いダイナミック レンジを提供し、重要な製造プロセスの測定と制御に最適です。
730 は、使用ポイントで直接圧力変化を測定するダイヤフラムを使用して設計されており、測定対象のガス混合物とは無関係です。これにより、間接的な圧力しか測定できないマノメーターよりも高い精度が得られます。
Setra 730 真空静電容量マノメーターの用途
- 半導体
- 石油化学
- プラズマ滅菌装置
- 真空包装
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