Setra 730 진공 용량 압력계
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특징
- ±0.5%의 판독 정확도
- <20ms 응답 시간
- 무한 분해능, 출력 노이즈 레벨에 의해서만 제한됨(≤0.005% FS)
- 0~50ºC 보상 범위
- ±0.25% FS/50ºC 제로 시프트
- ±1.35% Rdg/50ºC 스팬 시프트
- 0.5% FS/1년 장기 안정성
- 긴장된 다이어프램
- 넓은 보상 작동 온도
- CE 및 RoHS 준수
Setra 730 진공 커패시턴스 압력계는 태양광, 반도체 및 산업 시장에서 공정 제어에 중요한 저진공 압력 범위를 측정하기 위한 고정확도 절대 커패시턴스 압력계(커패시턴스 다이어프램 게이지(CDG)라고도 함)입니다. 730은 가장 공격적인 공정 매체와 함께 사용하기 위해 용접된 모든 인코넬 습식 구성 요소를 사용합니다. 인코넬은 반도체 및 산업용 진공 공정에 사용되는 부식성 매체에 대한 저항성이 매우 높습니다. 730 압력계의 고주파 전자 설계는 RoHS를 완벽하게 준수하며 매우 낮은 노이즈를 생성하는 동시에 중요한 제어 애플리케이션에 필요한 빠른 응답 시간을 유지합니다. 730은 또한 외부 노이즈 제거, 빠른 워밍업 및 환경 영향에 대한 저항성을 갖추고 있습니다.
730 커패시턴스 압력계는 견고한 단일 전극 가변 커패시턴스 감지 소자를 사용하여 높은 과압 성능과 뛰어난 장기 안정성을 제공합니다. 730은 0.5%의 판독 정확도, 낮은 히스테리시스, 높은 분해능을 특징으로 하며, 광범위한 동적 범위를 제공하고 중요한 제조 공정을 측정하고 제어하는 데 이상적입니다.
730은 사용 지점에서 압력 변화를 직접 측정하는 다이어프램으로 설계되었으며, 측정되는 가스 혼합물과 무관합니다. 이를 통해 간접 압력만 측정할 수 있는 마노미터보다 더 높은 정확도를 제공합니다.
Setra 730 진공 정전식 마노미터 응용 분야
- 반도체
- 석유화학
- 플라즈마 살균기
- 진공 포장
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