Setra 730 真空電容壓力計

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功能

±0.5% 讀數精度
<20 ms 響應時間
無限分辨率，僅受輸出噪音水準限制 (≤0.005% FS)
0 至50°C 補償範圍
±0.25% FS/50°C 零位移
±1.35% Rdg/50°C 量程位移
0.5% FS/1 年-長期穩定性
張緊隔膜
寬補償工作溫度
符合CE與RoHS標準

Setra 730 真空電容壓力計是一款高精度絕對電容壓力計（也稱為電容膜片壓力計(CDG)），用於測量對光伏、半導體和工業市場製程控制至關重要的低真空壓力範圍。 730 使用焊接的全鉻鎳鐵合金潤濕部件，可與最具腐蝕性的製程介質一起使用。鉻鎳鐵合金對半導體和工業真空製程中使用的腐蝕性介質具有很強的抵抗力。 730 壓力計的高頻電子設計完全符合 RoHS 標準，噪音極低，同時保持關鍵控制應用所需的快速反應時間。 730 還具有外部噪音抑制、快速預熱和抗環境影響等功能。

730 電容壓力計採用剛性單電極可變電容感測元件，具有高過壓能力和卓越的長期穩定性。 730 具有 0.5% 的讀取精度、低滯後和高分辨率，提供寬動態範圍，非常適合測量和控制關鍵製造過程。

730 設計有隔膜，可直接測量使用時的壓力變化；它與被測量的氣體混合物無關。這比只能測量間接壓力的壓力計具有更高的精度。