Setra 730 真空电容压力计

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特点

  • 读数精度为±0.5%
  • 响应时间小于20 ms
  • 无限分辨率,仅受输出噪声水平限制(≤0.005% FS)
  • 0 至 50ºC 补偿范围
  • ±0.25% FS/50ºC 零点漂移
  • ±1.35% Rdg/50ºC 量程漂移
  • 0.5% FS/1 年长期稳定性
  • 张紧膜片
  • 宽补偿工作温度
  • 符合 CE 和 RoHS 标准

Setra 730 真空电容压力计是一种高精度绝对电容压力计(也称为电容膜片压力计 (CDG)),用于测量对光伏、半导体和工业市场中的工艺控制至关重要的低真空压力范围。730 使用焊接的全 Inconel 湿润组件,可与最具腐蚀性的工艺介质配合使用。Inconel 对半导体和工业真空工艺中使用的腐蚀性介质具有很强的抵抗力。730 压力计的高频电子设计完全符合 RoHS 标准,噪音极低,同时保持关键控制应用所需的快速响应时间。730 还具有外部噪声抑制、快速预热和抗环境影响等特点。

730 电容压力计使用刚性单电极可变电容传感元件,具有高过压能力和卓越的长期稳定性。 730 具有 0.5% 的读数精度、低滞后性和高分辨率,提供宽动态范围,是测量和控制关键制造过程的理想选择。

730 采用隔膜设计,可直接测量使用点的压力变化;它与被测气体混合物无关。这比只能测量间接压力的压力计具有更高的精度。

Setra 730 真空电容压力计应用

  • 半导体
  • 石化
  • 等离子灭菌器
  • 真空包装

Setra-730-Capacitance-Manometer-Datasheet (Setra-730-Capacitance-Manometer-Datasheet.pdf, 887 Kb) [下载]

Setra-730-Capacitance-Manometer-Manual (Setra-730-Capacitance-Manometer-Manual.pdf, 684 Kb) [下载]

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