Manomètre à capacité de vide Setra 730

Le manomètre à capacité de vide Setra 730 est un manomètre à capacité absolue de haute précision (également appelé jauge à membrane de capacité (CDG)), pour mesurer les plages de pression de vide faibles essentielles au contrôle des processus sur les marchés photovoltaïques, des semi-conducteurs et industriels. Le 730 utilise des composants soudés, entièrement en contact avec le fluide Inconel, pour une utilisation avec les milieux de processus les plus agressifs. L'Inconel est très résistant aux milieux corrosifs utilisés dans les semi-conducteurs et les processus de vide industriels. La conception électronique haute fréquence du manomètre 730 est entièrement conforme à la directive RoHS et produit un bruit extrêmement faible, tout en maintenant le temps de réponse rapide requis pour les applications de contrôle critiques. Le 730 présente également une réjection du bruit externe, un préchauffage rapide et une résistance aux effets environnementaux.

Le manomètre à capacité 730 utilise un élément de détection à capacité variable à électrode unique rigide, ce qui se traduit par une capacité de surpression élevée et une stabilité à long terme supérieure. Le manomètre 730 présente une précision de lecture de 0,5 %, une faible hystérésis et une haute résolution, ce qui offre une large plage dynamique et en fait un outil idéal pour mesurer et contrôler les processus de fabrication critiques.

Le manomètre 730 est conçu avec un diaphragme qui mesure les variations de pression directement au point d'utilisation ; il est indépendant du mélange de gaz mesuré. Cela permet une précision supérieure à celle d'un manomètre qui ne peut mesurer que la pression indirecte.

Applications du manomètre à capacité de vide Setra 730

• Semi-conducteurs
• Pétrochimie
• Stérilisateurs à plasma
• Emballage sous vide