CAS PUR-Therm ガスデリバリーヒーター 1330W at 240V, Single Phase Single 100 Ohm RTD in thermowell, 3 wires Metric
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ソート順 価格 | ソート順 表示設定 | ソート順 コード | ソート順 ヒーターワット数 | ソート順 取り付け穴 | ソート順 温度センサー |
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特徴
- クリーンで純粋なフローチューブ
- 粒子試験: Semi F-70「超高純度」仕様に適合
- 粗さ (Ra): Semi F-19「超高純度」仕様に適合
- 平均 Ra: 2.53 μin (0.064262 μm)
- 最大 Ra: 3.19 μin (0.081026 μm)
- 曲げ半径: Semi E49 不活性ガスおよび反応性ガスガイドラインに準拠 (半径の 5 倍)
- ASTM-967 仕様に準拠したパッシベーション
- 強力で正確な加熱
- 最大動作温度300°C (572°F)
- 標準電力: 208 ボルト単相、400 ワット
- 交換可能な加熱要素
- デュアル センサー熱電対: 動作温度の正確な制御と安全な過熱保護を実現
- 簡単に統合可能
- 業界標準のガスライン フロー チューブ サイズ: 外径 1/4 インチ (6.3 mm)、壁厚 .035 (.89 mm)
- チューブ入口と出口に業界標準の VCR 継手 (超高純度認定)アウトレット
- 本体寸法: 3.50” (89 mm) x 3.75” (95 mm)
CAS の PUR-Therm ガス供給ヒーターは、重要なキャリアガスとプロセスガスを加熱するように設計されています。業界の厳格な純度基準を満たすように製造された PUR-Therm は、純度を犠牲にすることなく、OEM と製造業者に、より効率的でより正確なチャンバーガス加熱方法を提供します。
CAS PUR-Therm ガス供給ヒーターは、鋳込みコンポーネントの利点を活用して、より低いワット数でより多くの熱を供給します。他のヒーターと比較して、PUR-Therm は同じ Delta-T を達成するためにより少ないエネルギーを使用します。 PUR-Therm ヒーターは、高純度および超高純度の包括的な業界標準に準拠しています。加熱されたガスは、高純度 316 シームレス ステンレス スチール フロー チューブ内で隔離され、加熱要素やその他のヒーター コンポーネントに接触することはありません。
CAS PUR-Therm ガス デリバリー ヒーターは、キャリア ガス加熱、プロセス ガス加熱、ウェーハ乾燥用の空気および窒素加熱などの用途に最適です。PUR-Therm ヒーターは、他のヒーターに比べてより正確な温度制御を実現するだけでなく、フレキシブル ガス ライン ヒーターに伴う煩雑な配線や制御メカニズムも排除します。ほとんどの標準制御と互換性のある PUR-Therm ガス デリバリー ヒーターは、ガス キャビネットに簡単に設置したり、ガス ストリームの任意のポイントに「インライン」で統合したりできます。