CAS PUR-Therm 氣體輸送加熱器 1330W at 240V, Single Phase Single 100 Ohm RTD in thermowell, 3 wires Metric
HP3N3J-100B3M
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功能
- 清潔純淨的流量管
- 顆粒測試：滿足Semi F-70「超高純度」規格
- 粗糙度(Ra)：滿足Semi F-19「超高純度」規格
- 粗糙度(Ra)：滿足Semi F-19「超高純度」規格純度」規格
- 平均Ra：2.53 μin (0.064262 μm) < li>最大Ra：3.19 μin (0.081026 μm)
- 彎曲半徑：符合Semi E49 指南適用於惰性和反應性氣體（5 x 半徑）
- 根據ASTM-967 規格進行鈍化
- 最大工作溫度溫度高達300°C (572°F)
- 標準功率：208 伏特單相，400 瓦
- 可更換加熱元件
- 雙感測器熱電偶：用於精確測量控制工作溫度並提供安全的過熱保護
- 業界標準瓦斯管線流量管尺寸：1/4 吋（6.3 公釐）外徑，0.035 壁（0.89 mm）
- 管道入口和出口採用業界標準VCR 接頭（經過認證的超高純度）
CAS 的 PUR-Therm 氣體輸送加熱器設計用於加熱關鍵載氣和製程氣體。製造符合業界嚴格的純度標準， PUR-Therm 為 OEM 和製造商提供了一種更有效率、更準確的加熱室氣體方法，且不犧牲純度。
CAS PUR-Therm 瓦斯輸送加熱器利用鑄件組件的優點，以更低的功率提供更多的熱量。與其他加熱器相比，PUR-Therm 使用更少的能源 達到相同的 Delta-T。 PUR-Therm 加熱器符合一系列全面的高純度和超高純度行業標準。加熱氣體被隔離在 高純度316無縫不銹鋼流管，絕不接觸加熱元件或任何其他加熱器部件
CAS PUR-Therm 氣體輸送加熱器非常適合載氣加熱、製程氣體加熱以及空氣和氣體等應用。氮氣加熱用於晶圓乾燥。不僅 與其他加熱器相比，PUR-Therm 加熱器不僅能提供更準確的溫度控制，而且還消除了雜亂的電線和電線。與靈活相關的控制機制 瓦斯管道加熱器。 PUR-Therm 燃氣輸送加熱器與大多數標準控制裝置兼容，可輕鬆安裝到氣櫃中或在任何位置「在線」集成 沿著氣流。
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