CAS PUR-Therm 가스 공급 히터 1330W at 240V, Single Phase Single 100 Ohm RTD in thermowell, 3 wires Metric
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특징
- 깨끗하고 순수한 흐름 튜브
- 입자 테스트: Semi F-70 "초고순도" 사양 충족
- 거칠기(Ra): Semi F-19 "초고순도" 사양 충족
- 평균 Ra: 2.53μin(0.064262μm)
- 최대 Ra: 3.19μin(0.081026μm)
- 굽힘 반경: 불활성 및 반응성 가스에 대한 Semi E49 지침 준수(5 x 반경)
- ASTM-967 사양에 따라 수동화
- 강력하고 정확한 열
- 최대 작동 온도 최대 300°C(572°F)
- 표준 전력: 208V 단상, 400와트
- 교체 가능한 가열 소자
- 이중 센서 열전대: 작동 온도의 정확한 제어 및 안전한 과열 보호
- 간편하게 통합
- 산업 표준 가스관 흐름 튜브 크기: 1/4"(6.3mm) OD, .035 벽(.89mm)
- 튜브 입구 및 산업 표준 VCR 피팅(초고순도 인증) 콘센트
- 본체 치수: 3.50인치(89mm) x 3.75인치(95mm)
CAS의 PUR-Therm 가스 공급 히터는 중요한 캐리어 가스와 공정 가스를 가열하도록 설계되었습니다. 업계의 엄격한 순도 표준을 충족하도록 제조된 PUR-Therm은 OEM과 제조업체에 순도를 희생하지 않고 챔버 가스를 가열하는 더 효율적이고 정확한 방법을 제공합니다.
CAS PUR-Therm 가스 공급 히터는 주조 구성 요소의 이점을 활용하여 더 낮은 와트수에서 더 많은 열을 전달합니다. 다른 히터와 비교하여 PUR-Therm은 동일한 Delta-T를 달성하기 위해 더 적은 에너지를 사용합니다. PUR-Therm 히터는 고순도 및 초고순도에 대한 포괄적인 산업 표준을 준수합니다. 가열된 가스는 고순도 316 이음매 없는 스테인리스 스틸 흐름 튜브에서 분리되어 가열 요소나 다른 히터 구성 요소와 접촉하지 않습니다.
CAS PUR-Therm 가스 공급 히터는 캐리어 가스 가열, 공정 가스 가열, 웨이퍼 건조를 위한 공기 및 질소 가열과 같은 응용 분야에 이상적입니다. PUR-Therm 히터는 다른 히터에 비해 더 정확한 온도 제어를 제공할 뿐만 아니라 유연한 가스라인 히터와 관련된 지저분한 전선 및 제어 메커니즘을 제거합니다. 대부분의 표준 제어와 호환되는 PUR-Therm 가스 공급 히터는 가스 캐비닛에 쉽게 설치하거나 가스 스트림을 따라 어느 지점에서나 '인라인'으로 통합할 수 있습니다.