CAS PUR-Therm 气体输送加热器 1330W at 240V, Single Phase Single 100 Ohm RTD in thermowell, 3 wires Metric
HP3N3J-100B3M
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特点
- 洁净纯净的流管
- 颗粒测试：符合 Semi F-70“超高纯度”规格
- 粗糙度 (Ra)：符合 Semi F-19“超高纯度”规格
- 平均 Ra：2.53 μin (0.064262 μm)
- 最大 Ra：3.19 μin (0.081026 μm)
- 弯曲半径：符合 Semi E49 惰性和活性气体指南 (5 x 半径)
- 钝化至 ASTM-967 规格
- 强大而精确的加热
- 最高工作温度300°C (572°F)
- 标准功率：208 伏单相，400 瓦
- 可更换加热元件
- 双传感器热电偶：用于精确控制工作温度并确保过热保护
- 易于集成
- 行业标准燃气管道流管尺寸：1/4 英寸（6.3 毫米）外径，.035 壁厚（.89 毫米）
- 管道入口和出口采用行业标准 VCR 配件（经过认证的超高纯度）。出口
- 主体尺寸：3.50 英寸 (89 毫米) x 3.75 英寸 (95 毫米)
CAS 的 PUR-Therm 气体输送加热器设计用于加热关键载气和工艺气体。PUR-Therm 按照行业严格的纯度标准制造，为 OEM 和制造商提供了一种更高效、更准确的加热室气体的方法，而不会牺牲纯度。
CAS PUR-Therm 气体输送加热器利用铸造组件的优势，以较低的瓦数提供更多的热量。与其他加热器相比，PUR-Therm 使用更少的能量来实现相同的 Delta-T。 PUR-Therm 加热器符合高纯度和超高纯度的一系列行业标准。加热气体被隔离在高纯度 316 无缝不锈钢流管中，绝不会接触加热元件或任何其他加热器组件
CAS PUR-Therm 气体输送加热器非常适合用于载气加热、工艺气体加热以及用于晶圆干燥的空气和氮气加热等应用。与其他加热器相比，PUR-Therm 加热器不仅提供更精确的温度控制，而且还消除了与柔性燃气管线加热器相关的杂乱电线和控制机制。PUR-Therm 气体输送加热器与大多数标准控制装置兼容，可以轻松安装到气柜中或“在线”集成在气流的任何位置。
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