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純度を犠牲にすることなくチャンバーガスをより効率的かつ正確に加熱する方法。
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アルミニウム 200 および 300 mm 加熱部品、ウェーハ製造の迅速なソリューション。
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低質量ヒーターの高ワット密度により、熱伝達と温度均一性が最適化されます。
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