히터

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순도를 희생하지 않고 챔버 가스를 가열하는 더 효율적이고 정확한 방법입니다.
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알루미늄 200 & 300mm 가열 부품, 웨이퍼 제조를 위한 빠른 솔루션입니다.
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저질량 히터의 높은 와트 밀도는 열 전달 및 온도 균일성을 최적화합니다.
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