加热器

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一种更有效、更准确的加热室内气体的方法,且不牺牲纯度。
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200 和 300 毫米铝加热部件,晶圆制造的快速解决方案。
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低质量加热器中的高瓦特密度优化了热传递和温度均匀性。
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