加熱器

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一種更有效率、更準確的加熱腔室氣體的方法,且不犧牲純度。
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鋁製 200 和 300 毫米加熱零件,晶圓製造的快速解決方案。
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低質量加熱器中的高功率密度優化了傳熱和溫度均勻性。
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